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濟南偉通機電設備有限公司
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驅動晶圓加工
編輯:admin 浏覽量:146 發布日期: 2019-02-13 10:51

處理(lǐ)用(yòng)于高(gāo)端芯片生産的(de)昂貴晶片是一項特别複雜(zá)的(de)工作。正是由于這(zhè)個(gè)原因,晶片的(de)制造主要是自動化(huà)的(de)過程。蝕刻代表了(le)最先進的(de)芯片制造中的(de)許多(duō)步驟之一。爲此,将晶片放入特殊處理(lǐ)裝置中并夾緊以進行進一步處理(lǐ)。帶有集成運動控制器的(de)電子換向微電機可(kě)實現三班制安全,免維護的(de)操作。

如今,傳感器元件需要批量生産。隻有制造過程或多(duō)或少完全自動化(huà),才有可(kě)能實現經濟有效的(de)制造。許多(duō)這(zhè)些大(dà)規模産品被部署爲安全關鍵過程,例如ABS傳感器,加速度傳感器等。因此,質量總是最重要的(de)。直到最近,将矽晶片手動放入載體中并夾緊。隻有精确定位的(de)晶片才能在随後的(de)制造過程中被蝕刻。由于晶圓在制造過程的(de)這(zhè)個(gè)階段已經具有相當大(dà)的(de)價值,因此必須非常小心地處理(lǐ)它們。全天候的(de)輪班操作增加了(le)整體生産成本。

質量至高(gāo)無上

緻力于追求卓越,電子生産處理(lǐ)系統專家INGENIA開發了(le)一種專爲芯片制造而設計的(de)自動裝配系統。爲了(le)解決定制生産流程面臨的(de)關鍵問題,INGENIA的(de)産品系列已根據客戶的(de)具體要求量身定制。對(duì)處理(lǐ)系統的(de)要求是巨大(dà)的(de):除了(le)應對(duì)三班制運行的(de)挑戰外,部署的(de)設備還(hái)必須長(cháng)期保證安全和(hé)精确定位。爲了(le)最佳地蝕刻昂貴的(de)矽晶片,重要的(de)是将晶片以最高(gāo)精度插入支架中,然後夾緊以進行進一步處理(lǐ)。
如果制造傳感器或微機械芯片而不是标準IC,則對(duì)處理(lǐ)的(de)要求變得(de)更具挑戰性。這(zhè)裏,與通(tōng)常的(de)存儲器芯片或CPU相反,晶片在兩側被處理(lǐ)。這(zhè)是将機械元件的(de)複雜(zá)結構與必要的(de)電子元件最佳結合的(de)唯一方法。由于沒有處理(lǐ)專家和(hé)驅動專家參與制造工廠,系統及其驅動器的(de)安裝和(hé)維護必須盡可(kě)能簡單。目标是确保在系統運行時(shí)進行重新調整和(hé)優化(huà),或者在中斷後再次啓動系統。此外,還(hái)設計了(le)簡單的(de)操作以降低系統的(de)操作成本。

安全插入

與每個(gè)自動化(huà)領域的(de)情況一樣,設計高(gāo)度通(tōng)用(yòng)和(hé)适應性強的(de)生産設備的(de)原則至關重要。混合标準組件和(hé)特殊解決方案可(kě)實現最佳處理(lǐ)。該設備本身負責處理(lǐ)所有過程,從安排晶圓到安裝承載架直到傳送安裝的(de)框架。所有組裝步驟都在一個(gè)級别執行。
存在用(yòng)于插入晶片并存儲插入盒中的(de)晶片的(de)機器人(rén)臂。爲了(le)确保安全性和(hé)精确定位,以及在電源故障期間符合CE标準,在這(zhè)些關鍵業務機器組件中使用(yòng)帶集成制動器的(de)電機。作爲電子制造業的(de)标準,高(gāo)基本周期要求具有強大(dà)性能和(hé)扭矩的(de)驅動器。盡管動态水(shuǐ)平很高(gāo),但定位必須始終完美(měi)。将晶片對(duì)準并夾持在支架中的(de)實際過程不需要過多(duō)的(de)功率,但在定位階段同樣重要。畢竟,晶片必須準确地位于中心,以确保盡可(kě)能多(duō)地利用(yòng)表面。最後,框架的(de)螺釘不僅必須準确插入正确的(de)位置,

 
快(kuài)速安全 - 使用(yòng)機器人(rén)手臂運輸托架框架
 

靈活的(de)驅動器

INGENIA使用(yòng)耐磨電子換向直流電機,以滿足這(zhè)些苛刻的(de)要求。由微電機專家FAULHABER開發的(de)EC電機是完美(měi)的(de)解決方案,擁有廣泛的(de)控制和(hé)變速箱技術。3056生産系列的(de)電機是具有高(gāo)于平均速度和(hé)扭矩要求的(de)機器部件的(de)理(lǐ)想選擇。這(zhè)些微型驅動器直徑僅爲30毫米,長(cháng)度僅爲56毫米,可(kě)産生高(gāo)達21.5 mNm的(de)連續扭矩(失速扭矩高(gāo)達100mNm),輸出功率爲49 W.微電機可(kě)提供12,24的(de)電源電壓,36或48 VDC。可(kě)以通(tōng)過部署30/1或38/1系列的(de)可(kě)選齒輪箱來(lái)調整速度。動力小動力室可(kě)通(tōng)過微電機的(de)模拟霍爾傳感器和(hé)MCBL 2805運動控制器進行控制,這(zhè)是專門爲這(zhè)一最先進的(de)産品系列量身定制的(de)。3564型系列的(de)大(dà)型電機可(kě)選配部署運動控制器。這(zhè)使得(de)直徑爲35 mm,總長(cháng)度爲83 mm的(de)非常緊湊的(de)驅動器 - 包括控制器。盡管尺寸緊湊,但EC微電機的(de)功率輸出爲70 W,峰值扭矩爲160 mNm(連續扭矩爲50 mNm)。在這(zhè)裏,匹配的(de)齒輪箱也(yě)可(kě)根據要求調整速度和(hé)扭矩。EC微電機的(de)功率輸出爲70 W,峰值扭矩爲160 mNm(連續扭矩爲50 mNm)。在這(zhè)裏,匹配的(de)齒輪箱也(yě)可(kě)根據要求調整速度和(hé)扭矩。EC微電機的(de)功率輸出爲70 W,峰值扭矩爲160 mNm(連續扭矩爲50 mNm)。在這(zhè)裏,匹配的(de)齒輪箱也(yě)可(kě)根據要求調整速度和(hé)扭矩。
在3564 K 024 BC型号中,電子換向伺服電機在高(gāo)性能16位控制器的(de)幫助下(xià)集成了(le)高(gāo)分(fēn)辨率編碼器和(hé)可(kě)編程運動控制器。速度調節範圍爲10至10,000 rpm,速度曲線,如斜坡,三角形,梯形或定位運動,分(fēn)辨率可(kě)達1/1000轉。還(hái)可(kě)以檢查參考标記和(hé)限位開關。集成了(le)發電機運行期間過溫,過載或過電壓的(de)自我保護功能。除自主部署外,RS232接口還(hái)支持外部控制。多(duō)個(gè)電機可(kě)通(tōng)過尋址在一個(gè)接口上運行。多(duō)路複用(yòng)器闆可(kě)用(yòng)于此目的(de)。
靈活的(de)驅動概念和(hé)先進的(de)系統解決方案的(de)相互作用(yòng)也(yě)爲降低電子制造的(de)生産成本提供了(le)堅實的(de)基礎,同時(shí)提高(gāo)了(le)制造質量。最先進的(de)驅動解決方案始終确保快(kuài)速安全的(de)操作。

 
步進電機确保晶片的(de)精确對(duì)準

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